紫外皮秒激光器微加工-金屬鉆孔
紫外皮秒激光器微加工-金屬鉆孔
COMPILER HPRR皮秒激光器提供uJ級單脈沖能量,重復頻率可達10kHz,是COMPLILER系列最新款激光器。此款激光器具有廣泛應用,尤其是晶圓切割、微納米加工、半導體劃線(xiàn)、遙感等。
產(chǎn)品特性:
? 8皮秒脈沖寬度,
? 65μJ @1064 nm,20μJ@355 nm,12μJ @266nm
? 脈沖重復頻率14kHz,
? TEM00模式
? 風(fēng)冷
? 外觸發(fā)或計算機控制,包括突發(fā)模式
? 可定制升級到100μJ/1064NM/20 kHz
典型應用:
? 微加工(晶片、太陽(yáng)能電池板、玻璃和金屬等微米級加工)
? 光掩膜制備和修復
? 紫外和時(shí)間分辨譜,單雙光子激光誘導熒光LIF
? 測距和遙感
? 激光消融、分裂和破壞
? 生物醫學(xué)研究
266nm/10uJ/5ps/14kHz COMPILER HPRR金屬鉆孔