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Phasics SID4系列 波前傳感器
法國Phasics 公司的產(chǎn)品基于其波前測量專(zhuān)利(專(zhuān)利號CN200780005898)技術(shù),即4 波橫向剪切干涉技術(shù)。(4-Wave LateralShearing Interferometry)。在增強型改進(jìn)型哈特曼掩模的基礎之上,這種獨特技術(shù)將超高分辨率和超大動(dòng)態(tài)范圍完美結合在了一起。任何應用下,其都能實(shí)現全面、簡(jiǎn)便、快速的測量。
Phasics波前傳感器具有如下獨特技術(shù)優(yōu)勢:
◆高分辨率相位圖:可達400x300。
◆可直接測量高發(fā)散光束
◆消色差,匹配CCD整個(gè)探測范圍,用于不同波長(cháng)光而無(wú)需額外校準。
應用方向:
+ 激光束質(zhì)量分析
+ 自適應光學(xué)
+ 光學(xué)系統測量
+ 生物成像
+ 熱成像,等離子體表面物理
激光光束測量
自適應光學(xué)
光學(xué)系統測量
型號
SID4
SID4-HR
SID4-DWIR
SID4-SWIR
SID4-NIR
SID4-UV-HR
SID4- UV
孔徑
3.6 × 4.8 mm2
8.9 × 11.8 mm2
13.44 × 10.08 mm2
9.6 × 7.68 mm2
13.6 ×10.96 mm2
8.0 × 8.0 mm2
空間分辨率
29.6 μm
68 μm
120 μm
40 μm
32 μm
采樣點(diǎn)/測量點(diǎn)
160 × 120
400 × 300
80 × 64
345 × 275
250 × 250
波長(cháng)
400nm~1100nm
3~5μm,8~14 μm
0.9 ~ 1.7 μm
1.5 ~ 1.6 μm
190 ~ 400 nm
250 ~ 400 nm
動(dòng)態(tài)范圍
> 100 μm
> 500 μm
N/A
~ 100 μm
> 200 μm
精度
10 nm RMS
15 nm RMS
75 nm RMS
> 15 nm RMS
10 nm
靈敏度
< 2 nm RMS
< 25 nm RMS
3nm RMS(高增益)
<1nmRMS(低增益)
< 11 nm RMS
1nm RMS @250nm,2μJ/cm2
0.5 nm
采樣頻率
> 60 fps
> 10 fps
> 50 fps
25/30/50/60 fps
60 fps
30 fps
處理頻率
10 Hz (高分辨率)
3 Hz (高分辨率)
20 Hz
> 10 Hz (高分辨率)
10 Hz
> 3 Hz (高分辨率)
1 Hz
尺寸
54×46×75.3mm
54×46×79mm
85×116×179mm
50×50×90mm
44×33×57.5mm
51 × 51 × 76 mm
95×105×84mm
重量
250 g
1.6 kg
300 g
900 g
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