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背景介紹 >>太赫茲近場(chǎng)掃描成像系統原理介紹
太赫茲波由于光子能量很低、 具有非破壞性和非電離特性, 使得太赫茲在材料檢測和無(wú)損探測方面有著(zhù)廣泛應用. 更為值得提出的是太赫茲成像, 特別是在生物醫學(xué)方面的成像, 引起了人們的廣泛關(guān)注。在可見(jiàn)光不能穿透或X射線(xiàn)對比度無(wú)法達到要求的情況下, 太赫茲成像則成為一個(gè)好的選擇。但是傳統遠場(chǎng)太赫茲成像系統受衍射極限的限制, 最小只能分辨λ/2的尺度, 即對應于1 THz的最小分辨率為0.15 mm。毫米量級的成像分辨率在一定程度上制約了太赫茲成像技術(shù)的應用。 因此, 發(fā)展近場(chǎng)探測和顯微技術(shù)對于獲得更高的分辨率顯得尤為重要。 為了打破衍射極限, 提高空間分辨率, Hunsche等實(shí)現了一種太赫茲近場(chǎng)成像系統, 將太赫茲逐點(diǎn)成像的分辨率提高到了亞波長(cháng)量級。 該工作將太赫茲近場(chǎng)成像技術(shù)的性能提高到了一個(gè)新層次, 為太赫茲成像的研究開(kāi)辟了新的途徑。
太赫茲近場(chǎng)探測的應用領(lǐng)域及其優(yōu)勢
—— 極高的空間成像分辨率,并且攜帶THz光譜的獨有特性
太赫茲研究 薄膜檢測 芯片封裝測量 檢測篩查 應用領(lǐng)域: ?超材料和等離子體 ?被動(dòng)元器件 ?輻射源 ?天線(xiàn)和波導 ?傳感器表面 ?石墨烯 應用領(lǐng)域: ?太陽(yáng)能電池 ?顯示器 ?柔性電子器件 ?半導體 ?石墨烯 ?透明導體 應用領(lǐng)域: ?時(shí)間分辨反射測量 ?故障隔離 ?包裝檢測 ?3D 集成 ?硅通孔技術(shù) (TSV) 應用領(lǐng)域: ?激光塑料焊接檢測 ?聚合物纖維光纖 ?芯片填充不足檢測 ?有機層篩選 Tera-Cube優(yōu)點(diǎn): ?近場(chǎng)貪財 ?核算的太赫茲時(shí)域光譜儀系統擴展 ?高的靈敏度 ?低噪聲 ?偏振敏感 ?寬帶性 Tera-Cube優(yōu)點(diǎn): ?薄膜電阻成像 ?非接觸測量 ?微米尺寸的分辨率 ?大面積掃描 ?高速掃描成像 Tera-Cube優(yōu)點(diǎn): ?市場(chǎng)領(lǐng)先的 TDR解決方案 ?亞皮秒的上升時(shí)間 ?非接觸式的 ?無(wú)損探測 Tera-Cube優(yōu)點(diǎn): ?非接觸式無(wú)損探測 ?快速檢測 ?對可見(jiàn)光/紅外不透明塑料的篩選 ?微米級結構的檢測
應用領(lǐng)域:
?超材料和等離子體 ?被動(dòng)元器件 ?輻射源 ?天線(xiàn)和波導 ?傳感器表面 ?石墨烯
?太陽(yáng)能電池
?時(shí)間分辨反射測量 ?故障隔離 ?包裝檢測 ?3D 集成 ?硅通孔技術(shù) (TSV)
?激光塑料焊接檢測 ?聚合物纖維光纖 ?芯片填充不足檢測 ?有機層篩選
Tera-Cube優(yōu)點(diǎn):
?近場(chǎng)貪財 ?核算的太赫茲時(shí)域光譜儀系統擴展 ?高的靈敏度 ?低噪聲 ?偏振敏感 ?寬帶性
?薄膜電阻成像 ?非接觸測量 ?微米尺寸的分辨率 ?大面積掃描 ?高速掃描成像
?市場(chǎng)領(lǐng)先的 TDR解決方案 ?亞皮秒的上升時(shí)間 ?非接觸式的 ?無(wú)損探測
?非接觸式無(wú)損探測 ?快速檢測 ?對可見(jiàn)光/紅外不透明塑料的篩選 ?微米級結構的檢測
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
屹持光電推出的THz-Cube太赫茲近場(chǎng)掃描成像系統,突破波長(cháng)分辨率極限,可以使空間成像分辨率提高至3um。THz-Cube是一個(gè)自動(dòng)化的太赫茲近場(chǎng)掃描系統。屹持光電推出的標準的近場(chǎng)掃描系統也可以使用客戶(hù)自己的飛秒光源驅動(dòng),對飛秒光源要求如下:
中心波長(cháng): 770 nm ... 820 nm 重復頻率: 10 MHz ... 1 GHz 平均功率: 60 mW ... 1.5 W 脈沖寬度: < 150 fs
Tera-Cube
太赫茲近場(chǎng)掃描原理
時(shí)域譜&頻譜數據
產(chǎn)品特點(diǎn)
—— 高速連續掃描、數據采集;
—— 光學(xué)形貌探測,使得樣品橫向掃描時(shí)可以保持探針和樣品表面距離保持一致;
—— 高動(dòng)態(tài)范圍鎖相探測
—— 線(xiàn)性偏振切可旋轉的太赫茲發(fā)射器,可以做偏振態(tài)獨立測量
—— 集成CCD相機模塊,控制探針頭和樣品位置
—— 控制軟件可自動(dòng)控制調節樣品和探針距離,并進(jìn)行數據采集和分析
樣品測試
Example plots of the THz near-field distribution measured at a metamaterial surface for sensing applications which is locally loaded with sample material. Left: Peak excitation state, right: 2 ps after excitation.
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