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>>太赫茲近場(chǎng)探針應用手冊
我們用于反射模式測量的TeraSpike太赫茲近場(chǎng)探針組合已擴展到兩個(gè)新型號:TSR.75和TSR-TT.75。新系列的太赫茲近場(chǎng)收發(fā)器探頭現在服務(wù)于更廣泛的應用場(chǎng)景,從體積檢查(TR.5)、具有更高空間分辨率的近表面體積檢查(TSR.75)和具有最大空間分辨率的表面掃描(TSR-TT.75)開(kāi)始。雖然基本上所有TR系列太赫茲反射式近場(chǎng)探頭也可用于穿透方式的操作,但是TSR-TT.75型號是在最高空間分辨率方面最適合這種模式。
TR系列利用Protomics專(zhuān)有的“陷波器”“-WT選項”設計來(lái)抑制太赫茲近場(chǎng)探頭內部反射信號,以及XR型柔性懸臂設計來(lái)提高機械穩定性。我們的收發(fā)器探頭提供亞波長(cháng)分辨率和最短THz傳輸路徑。
太赫茲反射式近場(chǎng)探針型號對照表
型號 TD-800- 操作方式 天線(xiàn)數量 入射角度 太赫茲帶寬 空間分辨率 TR.5 反射 2 0 1.5THz 250um TSR.75-PCS10-50 反射 2 15 3THz 100um TSR-TT.75-PCS10-50 反射和透射 1 0 2THz 40um TR系列探針基于專(zhuān)利申請DE 10 2009 000 823.3、DE 10 2014 015 516.1、DE 10 2016 002 733.9、DE 10 2020 002 735.0。
250um
反射式太赫茲近場(chǎng)探針:TD-800-TR.5
新的TeraSpike型號TR.5配備了一對緊密間隔的光導太赫茲天線(xiàn),為反射模式下的高性能近場(chǎng)測量提供了新的手段。一個(gè)天線(xiàn)用作發(fā)射太赫茲脈沖發(fā)射器,另一個(gè)天線(xiàn)則用作探測器。超薄太赫茲近場(chǎng)收發(fā)器探頭利用Protematics專(zhuān)有的“陷波器”設計來(lái)抑制探頭內部反射信號,以及XR型柔性PET懸臂設計來(lái)提高機械強度。與基于遠場(chǎng)發(fā)射器/探測器組件的標準反射模式方法不同,新的近場(chǎng)收發(fā)器探頭提供了亞波長(cháng)分辨率和最短THz傳輸路徑的訪(fǎng)問(wèn)。
TD-800-TR.5太赫茲近場(chǎng)探針設計示意圖
TD-800-TR.5太赫茲近場(chǎng)探針參數
反射式太赫茲近場(chǎng)探針:TD-800-TSR.75-PCS10-50
TSR.75-PCS10-50太赫茲近場(chǎng)探針設計示意圖
TSR.75-PCS10-50太赫茲近場(chǎng)探針參數表
型號 TD-800-TRS.75-PCS10-50 最大空間分辨率 100 μm 暗電流 @ 1 V Bias < 10 nA (typ. < 1.5 nA) 光電流@ 1 V Bias >0.1 μA (typ. >0.25 μA) 激發(fā)波長(cháng) 700 .. 860 nm 平均激發(fā)功率 0.1 .. 3 mW 連接方式 2x SMP
TR系列太赫茲近場(chǎng)探針主要對橫向于探針尖端軸的THz電場(chǎng)分量敏感,如上圖中x軸方向所示。
佛羅里達網(wǎng)絡(luò )安全研究所(FICS)Asadi博士團隊提供的IC樣本。基于Protamics軟件包Teraloc的堆疊界面和掩埋結構定位-針對TeraSpike太赫茲近場(chǎng)探針進(jìn)行了優(yōu)化。
反射式太赫茲近場(chǎng)探針:TD-800-TSR-TT.75
TD-800-TRS-TT.75太赫茲近場(chǎng)探針設計示意圖
TD-800-TRS-TT.75太赫茲近場(chǎng)探針參數表
型號 TD-800-TRS-TT.75-PCS10-50 最大分辨率 40 μm 暗電流@ 1 V Bias < 10 nA (typ. <1.5 nA) 光照電流 @ 1 V Bias >0.1 μA (typ. >0.25 μA) 激發(fā)波長(cháng) 700 .. 860 nm 平均功率 0.1 .. 3 mW 連接方式 2x SMP
應用示例(薄膜檢測)
太赫茲測試目標P-TTT-2-1200,鉻層厚度為10 nm和50 nm,分別相當于約250歐姆和50歐姆的薄層電阻。
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