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Phasics SID4-UVHR波前傳感器
Phasics利用其專(zhuān)利(專(zhuān)利號CN200780005898)的四波橫向剪切干涉技術(shù),在紫外波前測量提供了優(yōu)秀的解決方案。它有非常高空間分辨率(345x275測量點(diǎn))和在190-400nm范圍具有高靈敏度(0.5 nm RMS)。因此,SID4-UVHR是完全適用于光學(xué)元件的特性(用于光刻技術(shù)、半導體…)和表面檢查(透鏡和晶片…)。由于它小巧,易于使用,能有效地適應各種實(shí)驗條件。
SID4-UVHR 光學(xué)器件測量 自適應光學(xué)
特點(diǎn):
由于其獨特的專(zhuān)利技術(shù)技術(shù),Phasics的SID4-UVHR波前傳感器具備以下特點(diǎn):
1.超高分辨率:250x250測量點(diǎn)
2.高靈敏度:0.5nm
3.通光孔徑大:8*8mm
4.直接測量:光學(xué)元件和表面質(zhì)量
應用:
SID4-UVHR紫外波前傳感器提供應用:
紫外激光器:光束測試與校正
光學(xué)測量:UV光學(xué)測試(半導體…)和表面測量
SID4-UVHR產(chǎn)品參數:
波長(cháng)范圍
190 - 400 nm
通光孔徑
13.6 x 10.9 mm2
空間分辨率
40 μm
采樣點(diǎn)(相位/強度)
345 x 275
相位相對靈敏度
1 nm RMS
相位精度
10 nm RMS
動(dòng)態(tài)范圍
~
采樣頻率
> 30 fps
實(shí)時(shí)分析頻率
3 fps (full resolution)
數據接口
Giga Ethernet
尺寸(w x h x l)
51 x 51 x 76mm
重量
~300 g
其他波前分析儀:
Phasics SID4系列波前分析儀
Phasics SID4-UV 紫外波前分析儀
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